東京大学と味の素ファインテクノ（川崎市川崎区）、三菱電機、スペクトロニクス（大阪府吹田市）の4法人は共同で、半導体部材のビルドアップフィルムに直径6マイクロメートル（マイクロは100万分の1）以下の極細孔を1秒当たり数千穴開けるレーザー加工技術を開発。従来は40マイクロメートルで6分の1以…
東京大学と味の素ファインテクノ（川崎市川崎区）、三菱電機、スペクトロニクス（大阪府吹田市）の4法人は共同で、半導体部材のビルドアップフィルムに直径6マイクロメートル（マイクロは100万分の1）以下の極細孔を1秒当たり数千穴開けるレーザー加工技術を開発。従来は40マイクロメートルで6分の1以…