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パワーエレクトロニクス用途の超高電圧スーパージャンクションSiC デバイス Paper #9.1, “Scalable Ultrahigh Voltage SiC Superjunction Device Technologies for Power Electronics Applications,” R. Ghandi et al, GE/RPI パワーMOSFET、IGBT、SiCスイッチ/ダイオードなどといったパワー半導体は…