JSR子会社のInpria、Lam Researchを金属酸化物レジスト特許侵害で提訴 （マイナビ）

JSRが2021年10月に買収して100％子会社とした米国のEUVリソグラフィ用金属酸化物フォトレジストメーカーのInpriaは10月14日(米国時間)、ドライレジスト技術を開発したLam ResearchがInpriaの特許取得済み金属酸化物フォトレジスト技術を無断で使用したとして、米国デラウェア州連邦地方裁判所に特許侵…