東ソー、ＧａＮスパッタ材の早期事業化に意欲

　東ソーは、次世代パワー半導体材料として注目される窒化ガリウム（ＧａＮ）のスパッタリングターゲット材について事業化を急ぐ。続きは電子版で

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