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自動運転車などによるバリアフリー社会の実現にはスマート化を支える電子デバイスの高性能化が必要だ。デバイスの高性能化には、ノイズ源となる欠陥や不純物の特定、さらにはそれらの制御・除去が欠かせない。これまで、欠陥などの分析では、顕微手法による存在の検知と形状観察が主に行われてきた。 …